As ημιαγωγόςΚαθώς οι μικροηλεκτρονικές τεχνολογίες αναπτύσσονται προς υψηλότερη απόδοση και υψηλότερη ολοκλήρωση, τίθενται υψηλότερες απαιτήσεις στην καθαρότητα των ηλεκτρονικών ειδικών αερίων. Η τεχνολογία σωληνώσεων αερίου υψηλής καθαρότητας αποτελεί σημαντικό μέρος του συστήματος εφοδιασμού αερίου υψηλής καθαρότητας. Είναι η βασική τεχνολογία για την παροχή αερίων υψηλής καθαρότητας που πληρούν τις απαιτήσεις στα σημεία χρήσης αερίου, διατηρώντας παράλληλα την κατάλληλη ποιότητα.
Η τεχνολογία σωληνώσεων υψηλής καθαρότητας περιλαμβάνει τον σωστό σχεδιασμό του συστήματος, την επιλογή εξαρτημάτων σωληνώσεων και βοηθητικών υλικών, την κατασκευή και εγκατάσταση και τις δοκιμές.
01Γενική έννοια των σωληνώσεων μεταφοράς φυσικού αερίου
Όλα τα αέρια υψηλής καθαρότητας και καθαρότητας πρέπει να μεταφέρονται στο τερματικό σημείο αερίου μέσω αγωγών. Προκειμένου να πληρούνται οι απαιτήσεις ποιότητας διεργασίας για το αέριο, όταν ο δείκτης εξαγωγής αερίου είναι βέβαιος, είναι πιο απαραίτητο να δοθεί προσοχή στην επιλογή υλικού και στην ποιότητα κατασκευής του συστήματος σωληνώσεων. Εκτός από την ακρίβεια του εξοπλισμού παραγωγής ή καθαρισμού αερίου, επηρεάζεται σε μεγάλο βαθμό από πολλούς παράγοντες του συστήματος αγωγών. Επομένως, η επιλογή των σωλήνων πρέπει να συμμορφώνεται με τις σχετικές αρχές της βιομηχανίας καθαρισμού και να σημειώνεται το υλικό των σωλήνων στα σχέδια.
02Η σημασία των αγωγών υψηλής καθαρότητας στη μεταφορά φυσικού αερίου
Η σημασία των αγωγών υψηλής καθαρότητας στη μεταφορά αερίου υψηλής καθαρότητας Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας τήξης ανοξείδωτου χάλυβα, κάθε τόνος μπορεί να απορροφήσει περίπου 200 γραμμάρια αερίου. Μετά την επεξεργασία του ανοξείδωτου χάλυβα, όχι μόνο διάφοροι ρύποι κολλάνε στην επιφάνειά του, αλλά και μια ορισμένη ποσότητα αερίου απορροφάται στο μεταλλικό του πλέγμα. Όταν υπάρχει ροή αέρα που διέρχεται από τον αγωγό, το μέρος του αερίου που απορροφάται από το μέταλλο θα επανεισέλθει στη ροή αέρα και θα μολύνει το καθαρό αέριο.
Όταν η ροή αέρα στον σωλήνα είναι ασυνεχής, ο σωλήνας σχηματίζει προσρόφηση πίεσης στο αέριο που διέρχεται. Όταν η ροή αέρα σταματήσει να διέρχεται, το αέριο που προσροφάται από τον σωλήνα σχηματίζει ανάλυση μείωσης πίεσης και το αναλυόμενο αέριο εισέρχεται επίσης στο καθαρό αέριο στον σωλήνα ως πρόσμιξη.
Ταυτόχρονα, ο κύκλος προσρόφησης και ανάλυσης θα προκαλέσει την παραγωγή μιας ορισμένης ποσότητας σκόνης από το μέταλλο στην εσωτερική επιφάνεια του σωλήνα. Αυτό το σωματίδιο μεταλλικής σκόνης μολύνει επίσης το καθαρό αέριο στον σωλήνα. Αυτό το χαρακτηριστικό του σωλήνα είναι πολύ σημαντικό. Για να διασφαλιστεί η καθαρότητα του μεταφερόμενου αερίου, απαιτείται όχι μόνο η εσωτερική επιφάνεια του σωλήνα να έχει εξαιρετικά υψηλή ομαλότητα, αλλά και υψηλή αντοχή στη φθορά.
Όταν το αέριο έχει ισχυρές διαβρωτικές ιδιότητες, πρέπει να χρησιμοποιούνται σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα ανθεκτικοί στη διάβρωση. Διαφορετικά, θα εμφανιστούν κηλίδες διάβρωσης στην εσωτερική επιφάνεια του σωλήνα λόγω διάβρωσης. Σε σοβαρές περιπτώσεις, μεγάλα κομμάτια μετάλλου θα ξεφλουδίσουν ή ακόμα και θα τρυπηθούν, μολύνοντας έτσι το καθαρό αέριο που μεταφέρεται.
03Υλικό σωλήνα
Η επιλογή υλικού του σωλήνα πρέπει να γίνεται σύμφωνα με τις ανάγκες χρήσης. Η ποιότητα του σωλήνα μετριέται γενικά με βάση την τραχύτητα της εσωτερικής επιφάνειας του σωλήνα. Όσο χαμηλότερη είναι η τραχύτητα, τόσο λιγότερο πιθανό είναι να μεταφέρει σωματίδια. Γενικά χωρίζεται σε τρεις τύπους:
Το ένα είναιΣωλήνας EP ποιότητας 316L, το οποίο έχει υποστεί ηλεκτρολυτική στίλβωση (Electro-Polish). Είναι ανθεκτικό στη διάβρωση και έχει χαμηλή τραχύτητα επιφάνειας. Το Rmax (μέγιστο ύψος κορυφής προς κοιλάδα) είναι περίπου 0,3 μm ή λιγότερο. Έχει την υψηλότερη επιπεδότητα και δεν σχηματίζει εύκολα μικρο-δινορευτικά ρεύματα. Αφαιρέστε τα μολυσμένα σωματίδια. Το αέριο αντίδρασης που χρησιμοποιείται στη διεργασία θα πρέπει να διοχετεύεται με σωλήνες σε αυτό το επίπεδο.
Το ένα είναι έναΠτυχίο BA 316LΣωλήνας, ο οποίος έχει υποστεί επεξεργασία με Bright Anneal και χρησιμοποιείται συχνά για αέρια που έρχονται σε επαφή με το τσιπ αλλά δεν συμμετέχουν στην αντίδραση της διεργασίας, όπως το GN2 και το CDA. Ένας είναι ο σωλήνας AP (Annealing & Picking), ο οποίος δεν έχει υποστεί ειδική επεξεργασία και χρησιμοποιείται γενικά για διπλά σετ εξωτερικών σωλήνων που δεν χρησιμοποιούνται ως γραμμές τροφοδοσίας αερίου.
04 Κατασκευή αγωγού
Η επεξεργασία του στομίου του σωλήνα είναι ένα από τα βασικά σημεία αυτής της τεχνολογίας κατασκευής. Η κοπή και η προκατασκευή του αγωγού πραγματοποιούνται σε καθαρό περιβάλλον και ταυτόχρονα διασφαλίζεται ότι δεν υπάρχουν επιβλαβή σημάδια ή ζημιές στην επιφάνεια του αγωγού πριν από την κοπή. Οι προετοιμασίες για την έκπλυση με άζωτο στον αγωγό θα πρέπει να γίνονται πριν από το άνοιγμα του αγωγού. Καταρχήν, η συγκόλληση χρησιμοποιείται για τη σύνδεση των αγωγών μεταφοράς και διανομής αερίου υψηλής καθαρότητας και καθαριότητας με μεγάλη ροή, αλλά δεν επιτρέπεται η άμεση συγκόλληση. Θα πρέπει να χρησιμοποιούνται σύνδεσμοι περιβλήματος και το υλικό του σωλήνα που χρησιμοποιείται πρέπει να μην έχει καμία αλλαγή στη δομή κατά τη συγκόλληση. Εάν συγκολληθεί υλικό με πολύ υψηλή περιεκτικότητα σε άνθρακα, η διαπερατότητα αέρα του εξαρτήματος συγκόλλησης θα προκαλέσει τη διείσδυση του αερίου εντός και εκτός του σωλήνα, καταστρέφοντας την καθαρότητα, την ξηρότητα και την καθαριότητα του αερίου μεταφοράς, γεγονός που θα οδηγήσει σε σοβαρές συνέπειες και θα επηρεάσει την ποιότητα της παραγωγής.
Συνοπτικά, για τους αγωγούς μεταφοράς αερίου υψηλής καθαρότητας και ειδικών αερίων, πρέπει να χρησιμοποιείται ένας ειδικά επεξεργασμένος σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα υψηλής καθαρότητας, γεγονός που καθιστά το σύστημα αγωγών υψηλής καθαρότητας (συμπεριλαμβανομένων των αγωγών, των εξαρτημάτων σωληνώσεων, των βαλβίδων, των VMB, VMP) ζωτικής σημασίας για τη διανομή αερίου υψηλής καθαρότητας.
Ώρα δημοσίευσης: 26 Νοεμβρίου 2024