As ημιαγωγόςκαι οι μικροηλεκτρονικές τεχνολογίες αναπτύσσονται προς υψηλότερες επιδόσεις και υψηλότερη ενσωμάτωση, τίθενται υψηλότερες απαιτήσεις για την καθαρότητα των ηλεκτρονικών ειδικών αερίων. Η τεχνολογία σωληνώσεων αερίου υψηλής καθαρότητας είναι ένα σημαντικό μέρος του συστήματος παροχής αερίου υψηλής καθαρότητας. Είναι η βασική τεχνολογία για την παροχή αερίων υψηλής καθαρότητας που πληρούν τις απαιτήσεις στα σημεία χρήσης αερίου, διατηρώντας παράλληλα την ποιοτική ποιότητα.
Η τεχνολογία σωληνώσεων υψηλής καθαρότητας περιλαμβάνει τον σωστό σχεδιασμό του συστήματος, την επιλογή εξαρτημάτων σωληνώσεων και βοηθητικών υλικών, κατασκευή και εγκατάσταση και δοκιμή.
01Γενική έννοια των σωληνώσεων μεταφοράς αερίου
Όλα τα αέρια υψηλής καθαρότητας και υψηλής καθαρότητας πρέπει να μεταφέρονται στο τερματικό σημείο αερίου μέσω αγωγών. Προκειμένου να ικανοποιηθούν οι απαιτήσεις ποιότητας της διεργασίας για το αέριο, όταν ο δείκτης εξαγωγής αερίου είναι σίγουρος, είναι πιο απαραίτητο να δοθεί προσοχή στην επιλογή υλικού και στην ποιότητα κατασκευής του συστήματος σωληνώσεων. Εκτός από την ακρίβεια του εξοπλισμού παραγωγής ή καθαρισμού αερίου, επηρεάζεται σε μεγάλο βαθμό από πολλούς παράγοντες του συστήματος αγωγών. Επομένως, η επιλογή των σωλήνων πρέπει να συμμορφώνεται με τις σχετικές αρχές της βιομηχανίας καθαρισμού και να επισημαίνει το υλικό των σωλήνων στα σχέδια.
02Η σημασία των αγωγών υψηλής καθαρότητας στη μεταφορά αερίου
Η σημασία των αγωγών υψηλής καθαρότητας στη μεταφορά αερίου υψηλής καθαρότητας Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας τήξης ανοξείδωτου χάλυβα, κάθε τόνος μπορεί να απορροφήσει περίπου 200 γραμμάρια αερίου. Μετά την επεξεργασία του ανοξείδωτου χάλυβα, όχι μόνο κολλάνε διάφοροι ρύποι στην επιφάνειά του, αλλά και μια ορισμένη ποσότητα αερίου απορροφάται στο μεταλλικό πλέγμα του. Όταν υπάρχει ροή αέρα που διέρχεται από τον αγωγό, το μέρος του αερίου που απορροφάται από το μέταλλο θα εισέλθει ξανά στη ροή του αέρα και θα μολύνει το καθαρό αέριο.
Όταν η ροή αέρα στον σωλήνα είναι ασυνεχής, ο σωλήνας σχηματίζει προσρόφηση πίεσης στο αέριο που διέρχεται. Όταν η ροή αέρα σταματά να περνά, το αέριο που προσροφάται από τον σωλήνα σχηματίζει ανάλυση μείωσης πίεσης και το αναλυόμενο αέριο εισέρχεται επίσης στο καθαρό αέριο στον σωλήνα ως ακαθαρσία.
Ταυτόχρονα, ο κύκλος προσρόφησης και ανάλυσης θα κάνει το μέταλλο στην εσωτερική επιφάνεια του σωλήνα να παράγει μια ορισμένη ποσότητα σκόνης. Αυτό το σωματίδιο μεταλλικής σκόνης μολύνει επίσης το καθαρό αέριο στον σωλήνα. Αυτό το χαρακτηριστικό του σωλήνα είναι πολύ σημαντικό. Για να εξασφαλιστεί η καθαρότητα του μεταφερόμενου αερίου, όχι μόνο απαιτείται η εσωτερική επιφάνεια του σωλήνα να έχει εξαιρετικά υψηλή ομαλότητα, αλλά και να έχει υψηλή αντοχή στη φθορά.
Όταν το αέριο έχει ισχυρές διαβρωτικές ιδιότητες, πρέπει να χρησιμοποιούνται σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα ανθεκτικοί στη διάβρωση για σωληνώσεις. Διαφορετικά, θα εμφανιστούν σημεία διάβρωσης στην εσωτερική επιφάνεια του σωλήνα λόγω διάβρωσης. Σε σοβαρές περιπτώσεις, μεγάλα κομμάτια μετάλλου θα αποκολληθούν ή ακόμη και θα τρυπήσουν, μολύνοντας έτσι το καθαρό αέριο που μεταφέρεται.
03 Υλικό σωλήνα
Η επιλογή υλικού του σωλήνα πρέπει να επιλέγεται σύμφωνα με τις ανάγκες χρήσης. Η ποιότητα του σωλήνα μετριέται γενικά σύμφωνα με την τραχύτητα της εσωτερικής επιφάνειας του σωλήνα. Όσο μικρότερη είναι η τραχύτητα, τόσο λιγότερο πιθανό είναι να μεταφέρει σωματίδια. Γενικά χωρίζεται σε τρεις τύπους:
Το ένα είναιΣωλήνας EP 316L, το οποίο έχει γυαλιστεί ηλεκτρολυτικά (Electro-Polish). Είναι ανθεκτικό στη διάβρωση και έχει χαμηλή τραχύτητα επιφάνειας. Το Rmax (μέγιστο ύψος κορυφής προς κοιλάδα) είναι περίπου 0,3μm ή λιγότερο. Έχει την υψηλότερη επιπεδότητα και δεν είναι εύκολο να σχηματιστούν μικροδινορεύματα. Αφαιρέστε τα μολυσμένα σωματίδια. Το αέριο αντίδρασης που χρησιμοποιείται στη διαδικασία θα πρέπει να διοχετεύεται σε αυτό το επίπεδο.
Το ένα είναι αΒΑ κατηγορίας 316Lσωλήνας, ο οποίος έχει υποστεί επεξεργασία από την Bright Anneal και χρησιμοποιείται συχνά για αέρια που έρχονται σε επαφή με το τσιπ αλλά δεν συμμετέχουν στην αντίδραση της διεργασίας, όπως το GN2 και το CDA. Ο ένας είναι ο σωλήνας AP (Annealing & Picking), ο οποίος δεν υφίσταται ειδική επεξεργασία και χρησιμοποιείται γενικά για διπλά σετ εξωτερικών σωλήνων που δεν χρησιμοποιούνται ως γραμμές παροχής αερίου.
04 Κατασκευή αγωγού
Η επεξεργασία του στομίου του σωλήνα είναι ένα από τα βασικά σημεία αυτής της τεχνολογίας κατασκευής. Η κοπή και η προκατασκευή του αγωγού γίνονται σε καθαρό περιβάλλον και ταυτόχρονα διασφαλίζεται ότι δεν υπάρχουν επιβλαβή σημάδια ή ζημιές στην επιφάνεια του αγωγού πριν από την κοπή. Οι προετοιμασίες για την έκπλυση με άζωτο στον αγωγό θα πρέπει να γίνονται πριν από το άνοιγμα του αγωγού. Κατ 'αρχήν, η συγκόλληση χρησιμοποιείται για τη σύνδεση των αγωγών μεταφοράς και διανομής αερίου υψηλής καθαρότητας και καθαριότητας με μεγάλη ροή, αλλά η άμεση συγκόλληση δεν επιτρέπεται. Θα πρέπει να χρησιμοποιούνται αρμοί περιβλήματος και το χρησιμοποιούμενο υλικό σωλήνα απαιτείται να μην έχει καμία αλλαγή στη δομή κατά τη συγκόλληση. Εάν το υλικό με πολύ υψηλή περιεκτικότητα σε άνθρακα συγκολληθεί, η διαπερατότητα αέρα του τμήματος συγκόλλησης θα προκαλέσει το αέριο μέσα και έξω από το σωλήνα να διεισδύσει το ένα στο άλλο, καταστρέφοντας την καθαρότητα, την ξηρότητα και την καθαρότητα του αερίου μεταφοράς, γεγονός που θα οδηγήσει σε σοβαρές συνέπειες και επηρεάζουν την ποιότητα παραγωγής.
Συνοπτικά, για αγωγούς μεταφοράς αερίου υψηλής καθαρότητας και ειδικών αγωγών μεταφοράς αερίου, πρέπει να χρησιμοποιηθεί ένας ειδικά επεξεργασμένος σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα υψηλής καθαρότητας, ο οποίος κάνει το σύστημα αγωγών υψηλής καθαρότητας (συμπεριλαμβανομένων αγωγών, εξαρτημάτων σωλήνων, βαλβίδων, VMB, VMP) να καταλαμβάνει ζωτικής σημασίας αποστολή στη διανομή αερίου υψηλής καθαρότητας.
Ώρα δημοσίευσης: Νοε-26-2024