1. Ορισμός συστήματος χύδην αερίου:
Αποθήκευση και έλεγχος πίεσης αδρανών αερίων Τύποι αερίων: Τυπικά αδρανή αέρια (άζωτο, αργό, πεπιεσμένος αέρας κ.λπ.)
Μέγεθος αγωγού: Από 1/4 (αγωγός παρακολούθησης) έως κύριο αγωγό 12 ιντσών
Τα κύρια προϊόντα του συστήματος είναι: βαλβίδα διαφράγματος/βαλβίδα φυσητήρα/σφαιρική βαλβίδα, σύνδεσμος υψηλής καθαρότητας (VCR, φόρμα συγκόλλησης), σύνδεσμος ferrule, βαλβίδα ρύθμισης πίεσης, μανόμετρο, κ.λπ.
Προς το παρόν, το νέο σύστημα περιλαμβάνει επίσης ένα ειδικό σύστημα χύμα αερίου, το οποίο χρησιμοποιεί σταθερές φιάλες αερίου ή βυτιοφόρα για αποθήκευση και μεταφορά.
2. Ορισμός συστήματος καθαρισμού:
Αφαίρεση ακαθαρσιών από χύδην αέρια για αγωγούς αερίου υψηλής καθαρότητας
3. Ορισμός καμπινών αερίου:
Να παρέχουν έλεγχο πίεσης και παρακολούθηση ροής για ειδικές πηγές αερίων (τοξικά, εύφλεκτα, αντιδραστικά, διαβρωτικά αέρια) και να έχουν τη δυνατότητα αντικατάστασης φιαλών αερίου.
Τοποθεσία: Βρίσκεται στον υπο-εργοστασιακό όροφο ή στον κάτω όροφο για την αποθήκευση ειδικών αερίων. Πηγή: NF3, SF6, WF6, κ.λπ.
Μέγεθος αγωγού: Εσωτερικός αγωγός αερίου, γενικά 1/4 ίντσας για αγωγό διεργασίας, 1/4-3/8 ίντσας κυρίως για αγωγό καθαρισμού αζώτου υψηλής καθαρότητας.
Κύρια προϊόντα: Βαλβίδες διαφράγματος υψηλής καθαρότητας, βαλβίδες αντεπιστροφής, μανόμετρα, μανόμετρα, σύνδεσμοι υψηλής καθαρότητας (VCR, φόρμα συγκόλλησης). Αυτά τα ερμάρια αερίου περιέχουν βασικά δυνατότητες αυτόματης μεταγωγής για φιάλες για να διασφαλίζεται η συνεχής παροχή αερίου και η ασφαλής αντικατάσταση των φιάλων.
4. Ορισμός Κατανομής:
Σύνδεση της πηγής αερίου στο πηνίο συλλογής αερίου
Μέγεθος γραμμής: Στο εργοστάσιο τσιπ, το μέγεθος του αγωγού διανομής χύδην αερίου κυμαίνεται γενικά από 1/2 ίντσα έως 2 ίντσες.
Μορφή σύνδεσης: Οι ειδικοί αγωγοί αερίου συνδέονται γενικά με συγκόλληση, χωρίς μηχανική σύνδεση ή άλλα κινούμενα μέρη, κυρίως επειδή η σύνδεση συγκόλλησης έχει ισχυρή αξιοπιστία σφράγισης.
Σε ένα εργοστάσιο τσιπ, υπάρχουν εκατοντάδες χιλιόμετρα σωληνώσεων συνδεδεμένων για τη μεταφορά αερίου, οι οποίες έχουν ουσιαστικά μήκος περίπου 6 μέτρα και είναι συγκολλημένες μεταξύ τους. Ορισμένες καμπύλες σωληνώσεων και σωληνωτές συνδέσεις συγκόλλησης είναι επίσης πολύ συνηθισμένες.
5. Πολυλειτουργικό κουτί βαλβίδας (Κουτί πολλαπλής βαλβίδας, VMB) Ορισμός:
Πρόκειται για τη διανομή ειδικών αερίων από την πηγή αερίου σε διαφορετικά άκρα εξοπλισμού.
Εσωτερικό μέγεθος αγωγού: αγωγός διεργασίας 1/4 ίντσας και αγωγός καθαρισμού 1/4 - 3/8 ίντσας. Το σύστημα μπορεί να χρησιμοποιεί έλεγχο από υπολογιστή για να απαιτεί ενεργοποιούμενες βαλβίδες ή καταστάσεις χαμηλότερου κόστους με χειροκίνητες βαλβίδες.
Προϊόντα συστήματος: βαλβίδες διαφράγματος/βαλβίδες φυσητήρα υψηλής καθαρότητας, βαλβίδες αντεπιστροφής, συνδέσεις υψηλής καθαρότητας (VCR, μορφή μικροσυγκόλλησης), βαλβίδες ρύθμισης πίεσης, μανόμετρα και μετρητές πίεσης, κ.λπ. Για τη διανομή ορισμένων αδρανών αερίων, χρησιμοποιείται κυρίως ο Πίνακας Πολλαπλής Βαλβίδας - VMP (δίσκος βαλβίδας πολλαπλών λειτουργιών), ο οποίος έχει ανοιχτή επιφάνεια δίσκου αερίου και δεν απαιτεί σχεδιασμό κλειστού χώρου και πρόσθετη εκκένωση αζώτου.
6. Πλάκα/κουτί δευτερεύουσας βαλβίδας (Πίνακας σύνδεσης εργαλείου) Ορισμός:
Συνδέστε το αέριο που απαιτείται από τον ημιαγωγό εξοπλισμό από την πηγή αερίου στο άκρο του εξοπλισμού και παρέχετε την αντίστοιχη ρύθμιση πίεσης. Αυτός ο πίνακας είναι ένα σύστημα ελέγχου αερίου που βρίσκεται πιο κοντά στο άκρο του εξοπλισμού από το VMB (κουτί πολλαπλών λειτουργιών βαλβίδας).
Μέγεθος αγωγού φυσικού αερίου: 1/4 - 3/8 ίντσας
Μέγεθος αγωγού υγρού: 1/2 - 1 ίντσα
Μέγεθος αγωγού εκκένωσης: 1/2 - 1 ίντσα
Κύρια προϊόντα: βαλβίδα διαφράγματος/βαλβίδα φυσητήρα, μονόδρομη βαλβίδα, βαλβίδα ρύθμισης πίεσης, μανόμετρο, μανόμετρο, σύνδεση υψηλής καθαρότητας (VCR, μικροσυγκόλληση), σύνδεση ferrule, σφαιρική βαλβίδα, εύκαμπτος σωλήνας, κ.λπ.
Ώρα δημοσίευσης: 22 Νοεμβρίου 2024