1. Ορισμός συστήματος αερίου χύδην:
Αποθήκευση και έλεγχος πίεσης αδρανών αερίων Τύποι αερίων: Τυπικά αδρανή αέρια (άζωτο, αργό, πεπιεσμένος αέρας κ.λπ.)
Μέγεθος αγωγού: Από 1/4 (αγωγός παρακολούθησης) έως κύριος αγωγός 12 ιντσών
Τα κύρια προϊόντα του συστήματος είναι: βαλβίδα μεμβράνης/βαλβίδα φυσούνας/σφαιρική βαλβίδα, σύνδεσμος υψηλής καθαρότητας (VCR, μορφή συγκόλλησης), σύνδεσμος φερμουάρ, βαλβίδα ρύθμισης πίεσης, μανόμετρο κ.λπ.
Επί του παρόντος, το νέο σύστημα περιλαμβάνει επίσης ένα χύμα ειδικό σύστημα αερίου, το οποίο χρησιμοποιεί σταθερές φιάλες αερίου ή βυτιοφόρα για αποθήκευση και μεταφορά.
2. Ορισμός συστήματος καθαρισμού:
Αφαίρεση ακαθαρσιών από αέρια χύδην για αγωγούς αερίου υψηλής καθαρότητας
3. Ερμάρια αερίου Ορισμός:
Παρέχετε έλεγχο πίεσης και παρακολούθηση ροής για ειδικές πηγές αερίου (τοξικά, εύφλεκτα, αντιδραστικά, διαβρωτικά αέρια) και έχουν τη δυνατότητα αντικατάστασης κυλίνδρων αερίου.
Τοποθεσία: Βρίσκεται στο δάπεδο Sub-fab ή στον κάτω όροφο για αποθήκευση ειδικών αερίων Πηγή: NF3, SF6, WF6, κ.λπ.
Μέγεθος αγωγού: Εσωτερικός αγωγός αερίου, γενικά 1/4 ίντσας για αγωγό διεργασίας, 1/4-3/8 ίντσα κυρίως για αγωγό καθαρισμού αζώτου υψηλής καθαρότητας.
Κύρια προϊόντα: Βαλβίδες μεμβράνης υψηλής καθαρότητας, βαλβίδες αντεπιστροφής, μετρητές πίεσης, μετρητές πίεσης, σύνδεσμοι υψηλής καθαρότητας (VCR, μορφή συγκόλλησης) Αυτά τα ντουλάπια αερίου περιέχουν βασικά δυνατότητες αυτόματης μεταγωγής κυλίνδρων για τη διασφάλιση της συνεχούς παροχής αερίου και την ασφαλή αντικατάσταση των κυλίνδρων.
4. Ορισμός διανομής:
Σύνδεση της πηγής αερίου στο πηνίο συλλογής αερίου
Μέγεθος γραμμής: Στο εργοστάσιο τσιπ, το μέγεθος του αγωγού διανομής αερίου χύδην κυμαίνεται γενικά από 1/2 ίντσα έως 2 ίντσες.
Μορφή σύνδεσης: Οι ειδικοί αγωγοί αερίου συνδέονται γενικά με συγκόλληση, χωρίς καμία μηχανική σύνδεση ή άλλα κινούμενα μέρη, κυρίως επειδή η σύνδεση συγκόλλησης έχει ισχυρή αξιοπιστία στεγανοποίησης.
Σε ένα εργοστάσιο τσιπ, υπάρχουν εκατοντάδες χιλιόμετρα σωλήνων συνδεδεμένοι για τη μετάδοση αερίου, οι οποίοι βασικά έχουν μήκος περίπου 20 πόδια και είναι συγκολλημένοι μεταξύ τους. Ορισμένες στροφές σωλήνων και σωληνοειδείς συνδέσεις συγκόλλησης είναι επίσης πολύ συνηθισμένες.
5. Κουτί βαλβίδας πολλαπλών λειτουργιών (Valve Manifold Box, VMB) Ορισμός:
Πρόκειται για τη διανομή ειδικών αερίων από την πηγή αερίου σε διαφορετικά άκρα εξοπλισμού.
Μέγεθος εσωτερικού αγωγού: αγωγός διεργασίας 1/4 ιντσών και αγωγός καθαρισμού 1/4 - 3/8 ιντσών. Το σύστημα μπορεί να χρησιμοποιεί έλεγχο υπολογιστή για να απαιτεί ενεργοποιημένες βαλβίδες ή καταστάσεις χαμηλότερου κόστους με χειροκίνητες βαλβίδες.
Προϊόντα συστήματος: βαλβίδες διαφράγματος/φυσούνα υψηλής καθαρότητας, βαλβίδες αντεπιστροφής, αρμοί υψηλής καθαρότητας (VCR, μορφή μικροσυγκόλλησης), βαλβίδες ρύθμισης πίεσης, μετρητές πίεσης και μετρητές πίεσης, κ.λπ. Για τη διανομή ορισμένων αδρανών αερίων, ο πίνακας πολλαπλής βαλβίδας - Χρησιμοποιείται κυρίως VMP (δίσκος βαλβίδας πολλαπλών λειτουργιών) που έχει ανοιχτή επιφάνεια δίσκου αερίου και δεν απαιτεί κλειστό χώρο σχεδιασμός και πρόσθετη εκκένωση αζώτου.
6. Δευτερεύουσα πλάκα/κουτί βαλβίδας (Πίνακας σύνδεσης εργαλείων) Ορισμός:
Συνδέστε το αέριο που απαιτείται από τον εξοπλισμό ημιαγωγών από την πηγή αερίου στο άκρο του εξοπλισμού και παρέχετε την αντίστοιχη ρύθμιση πίεσης. Αυτός ο πίνακας είναι ένα σύστημα ελέγχου αερίου που βρίσκεται πιο κοντά στο άκρο του εξοπλισμού από το VMB (κουτί βαλβίδας πολλαπλών λειτουργιών).
Μέγεθος αγωγού αερίου: 1/4 - 3/8 ίντσας
Μέγεθος σωλήνων υγρού: 1/2 - 1 ίντσα
Μέγεθος αγωγού εκκένωσης: 1/2 - 1 ίντσα
Κύρια προϊόντα: βαλβίδα διαφράγματος/βαλβίδα φυσούνας, βαλβίδα μονής κατεύθυνσης, βαλβίδα ρύθμισης πίεσης, μανόμετρο, μανόμετρο, σύνδεσμος υψηλής καθαρότητας (VCR, μικροσυγκόλληση), σύνδεσμος φερμουάρ, σφαιρική βαλβίδα, σωλήνας κ.λπ.
Ώρα δημοσίευσης: Νοε-22-2024