Το Εργοστάσιο Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων Πολύ Μεγάλης Κλίμακας του Έργου 909 είναι ένα σημαντικό κατασκευαστικό έργο της βιομηχανίας ηλεκτρονικών της χώρας μου κατά τη διάρκεια του Ένατου Πενταετούς Σχεδίου για την παραγωγή τσιπ με πλάτος γραμμής 0,18 μικρά και διάμετρο 200 mm.
Η τεχνολογία κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων πολύ μεγάλης κλίμακας δεν περιλαμβάνει μόνο τεχνολογίες υψηλής ακρίβειας όπως η μικρο-μηχανική κατεργασία, αλλά θέτει επίσης υψηλές απαιτήσεις στην καθαρότητα του αερίου.
Η προμήθεια χύμα φυσικού αερίου για το Έργο 909 παρέχεται από μια κοινοπραξία μεταξύ της Praxair Utility Gas Co., Ltd. των Ηνωμένων Πολιτειών και των σχετικών μερών στη Σαγκάη για την από κοινού δημιουργία μιας μονάδας παραγωγής φυσικού αερίου. Η μονάδα παραγωγής φυσικού αερίου βρίσκεται δίπλα στο κτίριο του εργοστασίου του έργου 909, καλύπτοντας μια έκταση περίπου 15.000 τετραγωνικών μέτρων. Η καθαρότητα και οι απαιτήσεις παραγωγής διαφόρων αερίων
Το άζωτο υψηλής καθαρότητας (PN2), το άζωτο (N2) και το οξυγόνο υψηλής καθαρότητας (PO2) παράγονται με διαχωρισμό αέρα. Το υδρογόνο υψηλής καθαρότητας (PH2) παράγεται με ηλεκτρόλυση. Το αργό (Ar) και το ήλιο (He) αγοράζονται εξωτερικά. Το οιονεί αέριο καθαρίζεται και φιλτράρεται για χρήση στο Έργο 909. Ειδικό αέριο παρέχεται σε φιάλες και το περίβλημα των φιαλών αερίου βρίσκεται στο βοηθητικό εργαστήριο του εργοστασίου παραγωγής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.
Άλλα αέρια περιλαμβάνουν επίσης σύστημα CDA καθαρού και ξηρού πεπιεσμένου αέρα, με όγκο χρήσης 4185m3/h, σημείο δρόσου υπό πίεση -70°C και μέγεθος σωματιδίων που δεν υπερβαίνει τα 0,01um στο αέριο στο σημείο χρήσης. Σύστημα αναπνεύσιμου πεπιεσμένου αέρα (BA), όγκος χρήσης 90m3/h, σημείο δρόσου υπό πίεση 2℃, μέγεθος σωματιδίων στο αέριο στο σημείο χρήσης που δεν υπερβαίνει τα 0,3um, σύστημα κενού διεργασίας (PV), όγκος χρήσης 582m3/h, βαθμός κενού στο σημείο χρήσης -79993Pa. Σύστημα κενού καθαρισμού (HV), όγκος χρήσης 1440m3/h, βαθμός κενού στο σημείο χρήσης -59995 Pa. Το δωμάτιο συμπιεστών αέρα και το δωμάτιο αντλιών κενού βρίσκονται και τα δύο στην περιοχή του εργοστασίου του έργου 909.
Επιλογή υλικών και αξεσουάρ σωλήνων
Το αέριο που χρησιμοποιείται στην παραγωγή VLSI έχει εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις καθαρότητας.Αγωγοί φυσικού αερίου υψηλής καθαρότηταςχρησιμοποιούνται συνήθως σε καθαρά περιβάλλοντα παραγωγής και ο έλεγχος καθαριότητάς τους θα πρέπει να είναι συνεπής ή υψηλότερος από το επίπεδο καθαριότητας του χώρου που χρησιμοποιείται! Επιπλέον, οι αγωγοί αερίου υψηλής καθαρότητας χρησιμοποιούνται συχνά σε καθαρά περιβάλλοντα παραγωγής. Το καθαρό υδρογόνο (PH2), το οξυγόνο υψηλής καθαρότητας (PO2) και ορισμένα ειδικά αέρια είναι εύφλεκτα, εκρηκτικά, υποστηρικτικά της καύσης ή τοξικά αέρια. Εάν το σύστημα αγωγών αερίου δεν έχει σχεδιαστεί σωστά ή τα υλικά δεν έχουν επιλεγεί σωστά, όχι μόνο θα μειωθεί η καθαρότητα του αερίου που χρησιμοποιείται στο σημείο αερίου, αλλά θα παρουσιάσει και βλάβη. Πληροί τις απαιτήσεις της διεργασίας, αλλά δεν είναι ασφαλές στη χρήση και θα προκαλέσει ρύπανση στο καθαρό εργοστάσιο, επηρεάζοντας την ασφάλεια και την καθαριότητα του καθαρού εργοστασίου.
Η εγγύηση της ποιότητας του αερίου υψηλής καθαρότητας στο σημείο χρήσης δεν εξαρτάται μόνο από την ακρίβεια της παραγωγής αερίου, του εξοπλισμού καθαρισμού και των φίλτρων, αλλά επηρεάζεται επίσης σε μεγάλο βαθμό από πολλούς παράγοντες στο σύστημα αγωγών. Εάν βασιζόμαστε σε εξοπλισμό παραγωγής αερίου, εξοπλισμό καθαρισμού και φίλτρα, είναι απλώς λανθασμένο να επιβάλλουμε απείρως υψηλότερες απαιτήσεις ακρίβειας για να αντισταθμίσουμε τον ακατάλληλο σχεδιασμό του συστήματος σωληνώσεων αερίου ή την επιλογή υλικού.
Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας σχεδιασμού του έργου 909, ακολουθήσαμε τον «Κώδικα Σχεδιασμού Καθαρών Μονάδων» GBJ73-84 (το ισχύον πρότυπο είναι (GB50073-2001)), τον «Κώδικα Σχεδιασμού Σταθμών Πεπιεσμένου Αέρα» GBJ29-90, τον «Κώδικα Σχεδιασμού Σταθμών Οξυγόνου» GB50030-91, τον «Κώδικα Σχεδιασμού Σταθμών Υδρογόνου και Οξυγόνου» GB50177-93, και τα σχετικά τεχνικά μέτρα για την επιλογή υλικών και εξαρτημάτων αγωγών. Ο «Κώδικας Σχεδιασμού Καθαρών Μονάδων» ορίζει την επιλογή υλικών και βαλβίδων αγωγών ως εξής:
(1) Εάν η καθαρότητα του αερίου είναι μεγαλύτερη ή ίση με 99,999% και το σημείο δρόσου είναι χαμηλότερο από -76°C, θα πρέπει να χρησιμοποιηθεί σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρολυτικά γυαλισμένο εσωτερικό τοίχωμα ή σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα OCr18Ni9 (304) με ηλεκτρολυτικά γυαλισμένο εσωτερικό τοίχωμα. Η βαλβίδα θα πρέπει να είναι βαλβίδα διαφράγματος ή βαλβίδα φυσητήρα.
(2) Εάν η καθαρότητα του αερίου είναι μεγαλύτερη ή ίση με 99,99% και το σημείο δρόσου είναι χαμηλότερο από -60°C, θα πρέπει να χρησιμοποιηθεί σωλήνας ανοξείδωτου χάλυβα OCr18Ni9 (304) με ηλεκτροστιλβωμένο εσωτερικό τοίχωμα. Εκτός από τις βαλβίδες φυσητήρα που θα πρέπει να χρησιμοποιούνται για αγωγούς εύφλεκτου αερίου, θα πρέπει να χρησιμοποιούνται σφαιρικές βαλβίδες για άλλους αγωγούς αερίου.
(3) Εάν το σημείο δρόσου του ξηρού πεπιεσμένου αέρα είναι χαμηλότερο από -70°C, θα πρέπει να χρησιμοποιηθεί σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα OCr18Ni9 (304) με γυαλισμένο εσωτερικό τοίχωμα. Εάν το σημείο δρόσου είναι χαμηλότερο από -40℃, θα πρέπει να χρησιμοποιηθεί σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα OCr18Ni9 (304) ή σωλήνας από χάλυβα χωρίς ραφή γαλβανισμένος εν θερμώ. Η βαλβίδα θα πρέπει να είναι βαλβίδα φυσητήρα ή σφαιρική βαλβίδα.
(4) Το υλικό της βαλβίδας θα πρέπει να είναι συμβατό με το υλικό του σωλήνα σύνδεσης.
Σύμφωνα με τις απαιτήσεις των προδιαγραφών και τα σχετικά τεχνικά μέτρα, κατά την επιλογή υλικών αγωγών λαμβάνουμε υπόψη κυρίως τις ακόλουθες πτυχές:
(1) Η διαπερατότητα αέρα των υλικών των σωλήνων πρέπει να είναι μικρή. Οι σωλήνες από διαφορετικά υλικά έχουν διαφορετική διαπερατότητα αέρα. Εάν επιλεγούν σωλήνες με μεγαλύτερη διαπερατότητα αέρα, η ρύπανση δεν μπορεί να απομακρυνθεί. Οι σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα και οι χάλκινοι σωλήνες είναι καλύτεροι στην πρόληψη της διείσδυσης και της διάβρωσης του οξυγόνου στην ατμόσφαιρα. Ωστόσο, επειδή οι σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα είναι λιγότερο ενεργοί από τους χάλκινους σωλήνες, οι χάλκινοι σωλήνες είναι πιο ενεργοί στο να επιτρέπουν στην υγρασία της ατμόσφαιρας να διεισδύσει στις εσωτερικές τους επιφάνειες. Επομένως, κατά την επιλογή σωλήνων για αγωγούς αερίου υψηλής καθαρότητας, οι σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα θα πρέπει να είναι η πρώτη επιλογή.
(2) Η εσωτερική επιφάνεια του υλικού του σωλήνα προσροφάται και έχει μικρή επίδραση στην ανάλυση του αερίου. Μετά την επεξεργασία του σωλήνα από ανοξείδωτο χάλυβα, μια ορισμένη ποσότητα αερίου θα συγκρατηθεί στο μεταλλικό του πλέγμα. Όταν διέρχεται αέριο υψηλής καθαρότητας, αυτό το μέρος του αερίου θα εισέλθει στη ροή του αέρα και θα προκαλέσει ρύπανση. Ταυτόχρονα, λόγω της προσρόφησης και της ανάλυσης, το μέταλλο στην εσωτερική επιφάνεια του σωλήνα θα παράγει επίσης μια ορισμένη ποσότητα σκόνης, προκαλώντας ρύπανση στο αέριο υψηλής καθαρότητας. Για συστήματα σωληνώσεων με καθαρότητα άνω του 99,999% ή ppb, θα πρέπει να χρησιμοποιείται σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L).
(3) Η αντοχή στη φθορά των σωλήνων από ανοξείδωτο χάλυβα είναι καλύτερη από αυτή των σωλήνων χαλκού και η μεταλλική σκόνη που παράγεται από τη διάβρωση της ροής του αέρα είναι σχετικά μικρότερη. Τα εργαστήρια παραγωγής με υψηλότερες απαιτήσεις καθαριότητας μπορούν να χρησιμοποιήσουν σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ή σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα OCr18Ni9 (304). Δεν πρέπει να χρησιμοποιούνται σωλήνες χαλκού.
(4) Για συστήματα σωληνώσεων με καθαρότητα αερίου άνω του 99,999% ή επιπέδων ppb ή ppt, ή σε καθαρούς χώρους με επίπεδα καθαρότητας αέρα N1-N6 που καθορίζονται στον «Κώδικα Σχεδιασμού Καθαρού Εργοστασίου», οι εξαιρετικά καθαροί σωλήνες ήΣωλήνες EP εξαιρετικά καθαροίθα πρέπει να χρησιμοποιηθεί. Καθαρίστε «καθαρό σωληνάριο με εξαιρετικά λεία εσωτερική επιφάνεια».
(5) Ορισμένα από τα ειδικά συστήματα αγωγών φυσικού αερίου που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία παραγωγής είναι εξαιρετικά διαβρωτικά αέρια. Οι σωλήνες σε αυτά τα συστήματα αγωγών πρέπει να χρησιμοποιούν σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα ανθεκτικούς στη διάβρωση. Διαφορετικά, οι σωλήνες θα υποστούν ζημιά λόγω διάβρωσης. Εάν εμφανιστούν κηλίδες διάβρωσης στην επιφάνεια, δεν πρέπει να χρησιμοποιούνται συνηθισμένοι σωλήνες χωρίς ραφή από χάλυβα ή γαλβανισμένοι συγκολλημένοι σωλήνες από χάλυβα.
(6) Κατ' αρχήν, όλες οι συνδέσεις των αγωγών φυσικού αερίου θα πρέπει να συγκολλούνται. Δεδομένου ότι η συγκόλληση γαλβανισμένων χαλύβδινων σωλήνων θα καταστρέψει το γαλβανισμένο στρώμα, οι γαλβανισμένοι χαλύβδινοι σωλήνες δεν χρησιμοποιούνται για σωλήνες σε καθαρούς χώρους.
Λαμβάνοντας υπόψη τους παραπάνω παράγοντες, οι σωλήνες και οι βαλβίδες του αγωγού φυσικού αερίου που επιλέχθηκαν στο έργο &7& είναι οι εξής:
Οι σωλήνες του συστήματος αζώτου υψηλής καθαρότητας (PN2) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες ανοξείδωτου χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρολυτικά γυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από βαλβίδες φυσητήρα από ανοξείδωτο χάλυβα του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες του συστήματος αζώτου (N2) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες ανοξείδωτου χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρολυτικά γυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα, και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από βαλβίδες φυσητήρα από ανοξείδωτο χάλυβα του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες του συστήματος υδρογόνου υψηλής καθαρότητας (PH2) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες ανοξείδωτου χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρολυτικά γυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από βαλβίδες φυσητήρα από ανοξείδωτο χάλυβα του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες του συστήματος οξυγόνου υψηλής καθαρότητας (PO2) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες ανοξείδωτου χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρολυτικά γυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από βαλβίδες φυσητήρα από ανοξείδωτο χάλυβα του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες του συστήματος Argon (Ar) κατασκευάζονται από σωλήνες ανοξείδωτου χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρολυτικά γυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και χρησιμοποιούνται βαλβίδες φυσητήρα από ανοξείδωτο χάλυβα από το ίδιο υλικό.
Οι σωλήνες του συστήματος ηλίου (He) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες ανοξείδωτου χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρολυτικά γυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα, και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από βαλβίδες φυσητήρα από ανοξείδωτο χάλυβα του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες του συστήματος καθαρού ξηρού πεπιεσμένου αέρα (CDA) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες ανοξείδωτου χάλυβα OCr18Ni9 (304) με γυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από βαλβίδες φυσητήρα από ανοξείδωτο χάλυβα του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες του συστήματος αναπνεύσιμου πεπιεσμένου αέρα (BA) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες ανοξείδωτου χάλυβα OCr18Ni9 (304) με γυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από σφαιρικές βαλβίδες ανοξείδωτου χάλυβα του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες του συστήματος κενού διεργασίας (PV) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες UPVC και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από βαλβίδες πεταλούδας κενού κατασκευασμένες από το ίδιο υλικό.
Οι σωλήνες του συστήματος καθαρισμού με ηλεκτρική σκούπα (HV) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες UPVC και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από βαλβίδες πεταλούδας κενού κατασκευασμένες από το ίδιο υλικό.
Οι σωλήνες του ειδικού συστήματος αερίου είναι όλοι κατασκευασμένοι από σωλήνες ανοξείδωτου χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρολυτικά γυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από βαλβίδες φυσητήρα από ανοξείδωτο χάλυβα του ίδιου υλικού.
3 Κατασκευή και εγκατάσταση αγωγών
3.1 Το άρθρο 8.3 του «Κώδικα Σχεδιασμού Καθαρών Κτιρίων Εργοστασίου» ορίζει τις ακόλουθες διατάξεις για τις συνδέσεις αγωγών:
(1) Οι συνδέσεις των σωλήνων πρέπει να είναι συγκολλημένες, αλλά οι σωλήνες από χάλυβα γαλβανισμένους εν θερμώ πρέπει να είναι σπειροειδείς. Το υλικό στεγανοποίησης των σπειροειδών συνδέσεων πρέπει να συμμορφώνεται με τις απαιτήσεις του Άρθρου 8.3.3 της παρούσας προδιαγραφής.
(2) Οι σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα θα πρέπει να συνδέονται με συγκόλληση με τόξο αργού και συγκόλληση με άκρα ή συγκόλληση με υποδοχή, αλλά οι αγωγοί αερίου υψηλής καθαρότητας θα πρέπει να συνδέονται με συγκόλληση με άκρα χωρίς σημάδια στο εσωτερικό τοίχωμα.
(3) Η σύνδεση μεταξύ αγωγών και εξοπλισμού πρέπει να συμμορφώνεται με τις απαιτήσεις σύνδεσης του εξοπλισμού. Όταν χρησιμοποιούνται συνδέσεις σωλήνων, πρέπει να χρησιμοποιούνται μεταλλικοί σωλήνες.
(4) Η σύνδεση μεταξύ αγωγών και βαλβίδων θα πρέπει να συμμορφώνεται με τους ακόλουθους κανονισμούς
① Το υλικό στεγανοποίησης που συνδέει τους αγωγούς αερίου υψηλής καθαρότητας και τις βαλβίδες θα πρέπει να χρησιμοποιεί μεταλλικά παρεμβύσματα ή διπλά δαχτυλίδια σύμφωνα με τις απαιτήσεις της παραγωγικής διαδικασίας και τα χαρακτηριστικά του αερίου.
②Το υλικό στεγανοποίησης στη σύνδεση με σπείρωμα ή φλάντζα πρέπει να είναι πολυτετραφθοροαιθυλένιο.
3.2 Σύμφωνα με τις απαιτήσεις των προδιαγραφών και τα σχετικά τεχνικά μέτρα, η σύνδεση αγωγών αερίου υψηλής καθαρότητας θα πρέπει να συγκολλάται όσο το δυνατόν περισσότερο. Η άμεση συγκόλληση με άκρα θα πρέπει να αποφεύγεται κατά τη συγκόλληση. Θα πρέπει να χρησιμοποιούνται χιτώνια σωλήνων ή τελειωμένες ενώσεις. Τα χιτώνια σωλήνων θα πρέπει να είναι κατασκευασμένα από το ίδιο υλικό και η εσωτερική επιφάνεια να είναι λεία με τους σωλήνες. Κατά τη συγκόλληση, για να αποφευχθεί η οξείδωση του τμήματος συγκόλλησης, θα πρέπει να εισάγεται καθαρό προστατευτικό αέριο στον σωλήνα συγκόλλησης. Για σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα, θα πρέπει να χρησιμοποιείται συγκόλληση με τόξο αργού και θα πρέπει να εισάγεται αέριο αργού της ίδιας καθαρότητας στον σωλήνα. Πρέπει να χρησιμοποιείται σύνδεση με σπείρωμα ή σύνδεση με σπείρωμα. Κατά τη σύνδεση φλαντζών, θα πρέπει να χρησιμοποιούνται δαχτυλίδια για συνδέσεις με σπείρωμα. Εκτός από τους σωλήνες οξυγόνου και υδρογόνου, οι οποίοι θα πρέπει να χρησιμοποιούν μεταλλικά παρεμβύσματα, άλλοι σωλήνες θα πρέπει να χρησιμοποιούν παρεμβύσματα πολυτετραφθοροαιθυλενίου. Η εφαρμογή μικρής ποσότητας καουτσούκ σιλικόνης στις φλάντζες θα είναι επίσης αποτελεσματική. Ενισχύει το αποτέλεσμα στεγανοποίησης. Παρόμοια μέτρα θα πρέπει να λαμβάνονται κατά την κατασκευή συνδέσεων φλάντζας.
Πριν από την έναρξη των εργασιών εγκατάστασης, θα πρέπει να γίνει λεπτομερής οπτική επιθεώρηση των σωλήνων,εξαρτήματα, βαλβίδες κ.λπ. πρέπει να εκτελούνται. Το εσωτερικό τοίχωμα των συνηθισμένων σωλήνων από ανοξείδωτο χάλυβα πρέπει να καθαρίζεται με οξείδωση πριν από την εγκατάσταση. Οι σωλήνες, τα εξαρτήματα, οι βαλβίδες κ.λπ. των αγωγών οξυγόνου πρέπει να απαγορεύονται αυστηρά από το λάδι και πρέπει να απολιπαίνονται αυστηρά σύμφωνα με τις σχετικές απαιτήσεις πριν από την εγκατάσταση.
Πριν από την εγκατάσταση και τη θέση σε λειτουργία του συστήματος, το σύστημα αγωγών μεταφοράς και διανομής θα πρέπει να καθαριστεί πλήρως με το παρεχόμενο αέριο υψηλής καθαρότητας. Αυτό όχι μόνο απομακρύνει τα σωματίδια σκόνης που έπεσαν κατά λάθος στο σύστημα κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εγκατάστασης, αλλά παίζει και ρόλο ξήρανσης στο σύστημα αγωγών, αφαιρώντας μέρος του αερίου που περιέχει υγρασία και απορροφάται από το τοίχωμα του σωλήνα, ακόμη και από το υλικό του σωλήνα.
4. Δοκιμή και αποδοχή πίεσης αγωγού
(1) Μετά την εγκατάσταση του συστήματος, θα πρέπει να διενεργείται 100% ακτινογραφικός έλεγχος των σωλήνων που μεταφέρουν εξαιρετικά τοξικά υγρά σε ειδικούς αγωγούς αερίου και η ποιότητά τους δεν πρέπει να είναι κατώτερη του Επιπέδου II. Άλλοι σωλήνες θα υπόκεινται σε δειγματοληπτικό ακτινογραφικό έλεγχο και ο λόγος δειγματοληπτικού ελέγχου δεν πρέπει να είναι μικρότερος από 5%, η ποιότητα δεν πρέπει να είναι κατώτερη από την κατηγορία III.
(2) Αφού περάσετε με επιτυχία τον μη καταστροφικό έλεγχο, θα πρέπει να πραγματοποιήσετε δοκιμή πίεσης. Για να διασφαλίσετε την ξηρότητα και την καθαριότητα του συστήματος σωληνώσεων, δεν πρέπει να διεξάγετε δοκιμή υδραυλικής πίεσης, αλλά να χρησιμοποιείτε πνευματική δοκιμή πίεσης. Η δοκιμή πίεσης αέρα θα πρέπει να διεξάγεται χρησιμοποιώντας άζωτο ή πεπιεσμένο αέρα που να ταιριάζει με το επίπεδο καθαριότητας του καθαρού δωματίου. Η πίεση δοκιμής του αγωγού πρέπει να είναι 1,15 φορές η πίεση σχεδιασμού και η πίεση δοκιμής του αγωγού κενού πρέπει να είναι 0,2 MPa. Κατά τη διάρκεια της δοκιμής, η πίεση πρέπει να αυξάνεται σταδιακά και αργά. Όταν η πίεση αυξηθεί στο 50% της πίεσης δοκιμής, εάν δεν εντοπιστεί ανωμαλία ή διαρροή, συνεχίστε να αυξάνετε την πίεση βήμα προς βήμα κατά 10% της πίεσης δοκιμής και σταθεροποιήστε την πίεση για 3 λεπτά σε κάθε επίπεδο μέχρι την πίεση δοκιμής. Σταθεροποιήστε την πίεση για 10 λεπτά και στη συνέχεια μειώστε την πίεση στην πίεση σχεδιασμού. Ο χρόνος διακοπής της πίεσης θα πρέπει να καθορίζεται σύμφωνα με τις ανάγκες ανίχνευσης διαρροών. Ο αφροποιητικός παράγοντας είναι κατάλληλος εάν δεν υπάρχει διαρροή.
(3) Αφού το σύστημα κενού περάσει τη δοκιμή πίεσης, θα πρέπει επίσης να διεξάγει μια 24ωρη δοκιμή βαθμού κενού σύμφωνα με τα έγγραφα σχεδιασμού και ο ρυθμός συμπίεσης δεν πρέπει να είναι μεγαλύτερος από 5%.
(4) Δοκιμή διαρροής. Για συστήματα σωληνώσεων βαθμού ppb και ppt, σύμφωνα με τις σχετικές προδιαγραφές, καμία διαρροή δεν θα πρέπει να θεωρείται ως έγκυρη, αλλά η δοκιμή ποσότητας διαρροής χρησιμοποιείται κατά τον σχεδιασμό, δηλαδή η δοκιμή ποσότητας διαρροής εκτελείται μετά τη δοκιμή αεροστεγανότητας. Η πίεση είναι η πίεση λειτουργίας και η πίεση διακόπτεται για 24 ώρες. Η μέση ωριαία διαρροή είναι μικρότερη ή ίση με 50 ppm ως έγκυρη. Ο υπολογισμός της διαρροής έχει ως εξής:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Στον τύπο:
Διαρροή ανά ώρα (%)
P1-Απόλυτη πίεση στην αρχή της δοκιμής (Pa)
P2-Απόλυτη πίεση στο τέλος της δοκιμής (Pa)
T1 - απόλυτη θερμοκρασία στην αρχή της δοκιμής (K)
T2 - απόλυτη θερμοκρασία στο τέλος της δοκιμής (K)
Ώρα δημοσίευσης: 12 Δεκεμβρίου 2023