Το 909 Project Very Large Scale Integrated Circuit Factory είναι ένα σημαντικό κατασκευαστικό έργο της βιομηχανίας ηλεκτρονικών της χώρας μου κατά τη διάρκεια του Ένατου Πενταετούς Σχεδίου για την παραγωγή τσιπ με πλάτος γραμμής 0,18 microns και διάμετρο 200 mm.
Η τεχνολογία κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων πολύ μεγάλης κλίμακας όχι μόνο περιλαμβάνει τεχνολογίες υψηλής ακρίβειας, όπως η μικροκατεργασία, αλλά και υψηλές απαιτήσεις για την καθαρότητα του αερίου.
Η χύδην προμήθεια φυσικού αερίου για το Project 909 παρέχεται από μια κοινοπραξία μεταξύ της Praxair Utility Gas Co., Ltd. των Ηνωμένων Πολιτειών και των σχετικών μερών στη Σαγκάη για να δημιουργήσουν από κοινού μια μονάδα παραγωγής φυσικού αερίου. Η μονάδα παραγωγής φυσικού αερίου βρίσκεται δίπλα στο εργοστάσιο του έργου 909 κτίριο, έκτασης περίπου 15.000 τετραγωνικών μέτρων. Οι απαιτήσεις καθαρότητας και εξόδου διαφόρων αερίων
Το άζωτο υψηλής καθαρότητας (PN2), το άζωτο (N2) και το οξυγόνο υψηλής καθαρότητας (PO2) παράγονται με το διαχωρισμό του αέρα. Υδρογόνο υψηλής καθαρότητας (PH2) παράγεται με ηλεκτρόλυση. Το αργό (Ar) και το ήλιο (He) αγοράζονται με εξωτερική ανάθεση. Το οιονεί αέριο καθαρίζεται και φιλτράρεται για χρήση στο Έργο 909. Το ειδικό αέριο παρέχεται σε φιάλες και το ντουλάπι της φιάλης αερίου βρίσκεται στο βοηθητικό συνεργείο της μονάδας παραγωγής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.
Άλλα αέρια περιλαμβάνουν επίσης σύστημα CDA καθαρού ξηρού πεπιεσμένου αέρα, με όγκο χρήσης 4185 m3/h, σημείο δρόσου πίεσης -70°C και μέγεθος σωματιδίων όχι περισσότερο από 0,01 μm στο αέριο στο σημείο χρήσης. Σύστημα αναπνοής πεπιεσμένου αέρα (BA), όγκος χρήσης 90m3/h, σημείο δρόσου πίεσης 2℃, μέγεθος σωματιδίων στο αέριο στο σημείο χρήσης δεν είναι μεγαλύτερο από 0,3um, σύστημα κενού διαδικασίας (PV), όγκος χρήσης 582m3/h, βαθμός κενού στο σημείο χρήσης -79993Pa . Σύστημα κενού καθαρισμού (HV), όγκος χρήσης 1440 m3/h, βαθμός κενού στο σημείο χρήσης -59995 Pa. Το δωμάτιο του αεροσυμπιεστή και το δωμάτιο της αντλίας κενού βρίσκονται και τα δύο στην περιοχή του εργοστασίου του έργου 909.
Επιλογή υλικών και εξαρτημάτων σωλήνων
Το αέριο που χρησιμοποιείται στην παραγωγή VLSI έχει εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις καθαριότητας.Αγωγοί αερίου υψηλής καθαρότηταςχρησιμοποιούνται συνήθως σε καθαρά περιβάλλοντα παραγωγής και ο έλεγχος καθαριότητας τους πρέπει να είναι συνεπής ή υψηλότερος από το επίπεδο καθαριότητας του χώρου που χρησιμοποιείται! Επιπλέον, οι αγωγοί αερίου υψηλής καθαρότητας χρησιμοποιούνται συχνά σε καθαρά περιβάλλοντα παραγωγής. Το καθαρό υδρογόνο (PH2), το οξυγόνο υψηλής καθαρότητας (PO2) και ορισμένα ειδικά αέρια είναι εύφλεκτα, εκρηκτικά, που υποστηρίζουν την καύση ή τοξικά αέρια. Εάν το σύστημα αγωγών αερίου δεν έχει σχεδιαστεί σωστά ή τα υλικά έχουν επιλεγεί σωστά, όχι μόνο θα μειωθεί η καθαρότητα του αερίου που χρησιμοποιείται στο σημείο αερίου, αλλά θα αποτύχει επίσης. Πληροί τις απαιτήσεις της διαδικασίας, αλλά δεν είναι ασφαλές στη χρήση και θα προκαλέσει ρύπανση στο καθαρό εργοστάσιο, επηρεάζοντας την ασφάλεια και την καθαριότητα του καθαρού εργοστασίου.
Η εγγύηση της ποιότητας του αερίου υψηλής καθαρότητας στο σημείο χρήσης δεν εξαρτάται μόνο από την ακρίβεια της παραγωγής αερίου, τον εξοπλισμό καθαρισμού και τα φίλτρα, αλλά επηρεάζεται επίσης σε μεγάλο βαθμό από πολλούς παράγοντες στο σύστημα αγωγών. Εάν βασιζόμαστε σε εξοπλισμό παραγωγής αερίου, εξοπλισμό καθαρισμού και φίλτρα Είναι απλώς λάθος να επιβάλλουμε απείρως υψηλότερες απαιτήσεις ακρίβειας για να αντισταθμίσουμε τον ακατάλληλο σχεδιασμό του συστήματος σωληνώσεων αερίου ή την επιλογή υλικού.
Κατά τη διαδικασία σχεδιασμού του έργου 909, ακολουθήσαμε τον «Κώδικα Σχεδιασμού Καθαρών Φυτών» GBJ73-84 (το τρέχον πρότυπο είναι (GB50073-2001)), «Κώδικας Σχεδιασμού Σταθμών Πεπιεσμένου Αέρα» GBJ29-90, «Κωδ. για Σχεδιασμό Σταθμών Οξυγόνου» GB50030-91 , «Κώδικας Σχεδιασμού Σταθμών Υδρογόνου και Οξυγόνου» GB50177-93, και σχετικά τεχνικά μέτρα για την επιλογή υλικών και εξαρτημάτων αγωγών. Ο «Κώδικας Σχεδιασμού Καθαρών Εγκαταστάσεων» ορίζει την επιλογή των υλικών και των βαλβίδων αγωγών ως εξής:
(1) Εάν η καθαρότητα του αερίου είναι μεγαλύτερη ή ίση με 99,999% και το σημείο δρόσου είναι χαμηλότερο από -76°C, σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρογυαλισμένο εσωτερικό τοίχωμα ή σωλήνα από ανοξείδωτο χάλυβα OCr18Ni9 (304) θα πρέπει να χρησιμοποιείται ηλεκτρογυαλισμένο εσωτερικό τοίχωμα. Η βαλβίδα πρέπει να είναι διαφραγματική βαλβίδα ή βαλβίδα φυσούνας.
(2) Εάν η καθαρότητα του αερίου είναι μεγαλύτερη ή ίση με 99,99% και το σημείο δρόσου είναι χαμηλότερο από -60°C, θα πρέπει να χρησιμοποιηθεί σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα OCr18Ni9 (304) με ηλεκτρογυαλισμένο εσωτερικό τοίχωμα. Εκτός από τις βαλβίδες φυσούνας που πρέπει να χρησιμοποιούνται για αγωγούς καύσιμου αερίου, οι σφαιρικές βαλβίδες θα πρέπει να χρησιμοποιούνται για άλλους αγωγούς αερίου.
(3) Εάν το σημείο δρόσου του ξηρού πεπιεσμένου αέρα είναι χαμηλότερο από -70°C, θα πρέπει να χρησιμοποιηθεί σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα OCr18Ni9 (304) με γυαλισμένο εσωτερικό τοίχωμα. Εάν το σημείο δρόσου είναι χαμηλότερο από -40℃, θα πρέπει να χρησιμοποιηθεί σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα OCr18Ni9 (304) ή σωλήνας χωρίς ραφή από γαλβανισμένο εν θερμώ. Η βαλβίδα πρέπει να είναι βαλβίδα φυσούνας ή σφαιρική βαλβίδα.
(4) Το υλικό της βαλβίδας πρέπει να είναι συμβατό με το υλικό του σωλήνα σύνδεσης.
Σύμφωνα με τις απαιτήσεις των προδιαγραφών και των σχετικών τεχνικών μέτρων, λαμβάνουμε υπόψη κυρίως τις ακόλουθες πτυχές κατά την επιλογή υλικών αγωγών:
(1) Η διαπερατότητα αέρα των υλικών σωλήνων πρέπει να είναι μικρή. Οι σωλήνες διαφορετικών υλικών έχουν διαφορετική διαπερατότητα αέρα. Εάν επιλεγούν σωλήνες με μεγαλύτερη διαπερατότητα αέρα, η ρύπανση δεν μπορεί να αφαιρεθεί. Οι σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα και οι σωλήνες χαλκού αποτρέπουν καλύτερα τη διείσδυση και τη διάβρωση του οξυγόνου στην ατμόσφαιρα. Ωστόσο, δεδομένου ότι οι σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα είναι λιγότερο ενεργοί από τους χαλκοσωλήνες, οι χαλκοσωλήνες είναι πιο ενεργοί στο να επιτρέπουν στην υγρασία στην ατμόσφαιρα να διεισδύσει στις εσωτερικές τους επιφάνειες. Επομένως, κατά την επιλογή σωλήνων για αγωγούς αερίου υψηλής καθαρότητας, οι σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα θα πρέπει να είναι η πρώτη επιλογή.
(2) Η εσωτερική επιφάνεια του υλικού του σωλήνα είναι προσροφημένη και έχει μικρή επίδραση στην ανάλυση του αερίου. Μετά την επεξεργασία του σωλήνα από ανοξείδωτο χάλυβα, μια ορισμένη ποσότητα αερίου θα συγκρατηθεί στο μεταλλικό του πλέγμα. Όταν διέρχεται αέριο υψηλής καθαρότητας, αυτό το μέρος του αερίου θα εισέλθει στη ροή του αέρα και θα προκαλέσει ρύπανση. Ταυτόχρονα, λόγω της προσρόφησης και της ανάλυσης, το μέταλλο στην εσωτερική επιφάνεια του σωλήνα θα παράγει επίσης μια ορισμένη ποσότητα σκόνης, προκαλώντας ρύπανση στο αέριο υψηλής καθαρότητας. Για συστήματα σωληνώσεων με καθαρότητα πάνω από 99,999% ή επίπεδο ppb, θα πρέπει να χρησιμοποιείται σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλού άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L).
(3) Η αντοχή στη φθορά των σωλήνων από ανοξείδωτο χάλυβα είναι καλύτερη από αυτή των χάλκινων σωλήνων και η μεταλλική σκόνη που δημιουργείται από τη διάβρωση της ροής του αέρα είναι σχετικά μικρότερη. Τα συνεργεία παραγωγής με υψηλότερες απαιτήσεις καθαριότητας μπορούν να χρησιμοποιούν σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλής περιεκτικότητας σε άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ή σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα OCr18Ni9 (304), δεν πρέπει να χρησιμοποιούνται σωλήνες χαλκού.
(4) Για συστήματα σωληνώσεων με καθαρότητα αερίου πάνω από 99,999% ή επίπεδα ppb ή ppt, ή σε καθαρούς χώρους με επίπεδα καθαρότητας αέρα N1-N6 που καθορίζονται στον «Κώδικα Σχεδίασης Clean Factory», εξαιρετικά καθαροί σωλήνες ήEP εξαιρετικά καθαροί σωλήνεςπρέπει να χρησιμοποιηθεί. Καθαρίστε τον «καθαρό σωλήνα με εξαιρετικά λεία εσωτερική επιφάνεια».
(5) Μερικά από τα ειδικά συστήματα αγωγών φυσικού αερίου που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία παραγωγής είναι αέρια υψηλής διάβρωσης. Οι σωλήνες σε αυτά τα συστήματα σωληνώσεων πρέπει να χρησιμοποιούν σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα ανθεκτικούς στη διάβρωση ως σωλήνες. Διαφορετικά, οι σωλήνες θα καταστραφούν λόγω διάβρωσης. Εάν εμφανιστούν σημεία διάβρωσης στην επιφάνεια, δεν πρέπει να χρησιμοποιούνται συνηθισμένοι χαλύβδινοι σωλήνες χωρίς συγκόλληση ή γαλβανισμένοι συγκολλημένοι σωλήνες χάλυβα.
(6) Κατ' αρχήν, όλες οι συνδέσεις αγωγών αερίου πρέπει να είναι συγκολλημένες. Δεδομένου ότι η συγκόλληση σωλήνων από γαλβανισμένο χάλυβα θα καταστρέψει το γαλβανισμένο στρώμα, οι σωλήνες από γαλβανισμένο χάλυβα δεν χρησιμοποιούνται για σωλήνες σε καθαρούς χώρους.
Λαμβάνοντας υπόψη τους παραπάνω παράγοντες, οι σωλήνες και οι βαλβίδες αγωγών αερίου που επιλέχθηκαν στο έργο &7& είναι οι εξής:
Οι σωλήνες του συστήματος αζώτου υψηλής καθαρότητας (PN2) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλού άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτροστιλβωμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από βαλβίδες φυσούνας από ανοξείδωτο χάλυβα του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες του συστήματος αζώτου (N2) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα 00Cr17Ni12Mo2Ti χαμηλών εκπομπών άνθρακα (316L) με ηλεκτρογυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από ανοξείδωτες βαλβίδες φυσούνας του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες του συστήματος υδρογόνου (PH2) υψηλής καθαρότητας είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλών εκπομπών άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρογυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από φυσητήρες από ανοξείδωτο χάλυβα του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες του συστήματος οξυγόνου υψηλής καθαρότητας (PO2) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλού άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρογυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από ανοξείδωτες βαλβίδες φυσούνας του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες συστήματος Argon (Ar) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες ανοξείδωτου χάλυβα χαμηλού άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρογυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και χρησιμοποιούνται βαλβίδες φυσούνας από ανοξείδωτο χάλυβα του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες συστήματος ηλίου (He) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες ανοξείδωτου χάλυβα χαμηλού άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρογυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες από ανοξείδωτες βαλβίδες φυσούνας του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες του συστήματος καθαρού ξηρού πεπιεσμένου αέρα (CDA) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα OCr18Ni9 (304) με γυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από βαλβίδες φυσούνας από ανοξείδωτο χάλυβα του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες του συστήματος αναπνοής πεπιεσμένου αέρα (BA) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα OCr18Ni9 (304) με γυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες είναι κατασκευασμένες από σφαιρικές βαλβίδες από ανοξείδωτο χάλυβα του ίδιου υλικού.
Οι σωλήνες του συστήματος κενού (PV) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες UPVC και οι βαλβίδες από βαλβίδες πεταλούδας κενού κατασκευασμένες από το ίδιο υλικό.
Οι σωλήνες του συστήματος κενού καθαρισμού (HV) είναι κατασκευασμένοι από σωλήνες UPVC και οι βαλβίδες από βαλβίδες πεταλούδας κενού από το ίδιο υλικό.
Οι σωλήνες του ειδικού συστήματος αερίου είναι όλοι κατασκευασμένοι από σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα χαμηλού άνθρακα 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) με ηλεκτρογυαλισμένα εσωτερικά τοιχώματα και οι βαλβίδες από ανοξείδωτες βαλβίδες φυσούνας του ίδιου υλικού.
3 Κατασκευή και εγκατάσταση αγωγών
3.1 Η ενότητα 8.3 του «Κώδικα Σχεδιασμού Κτιρίων καθαρού εργοστασίου» ορίζει τις ακόλουθες διατάξεις για τις συνδέσεις αγωγών:
(1) Οι συνδέσεις σωλήνων πρέπει να είναι συγκολλημένες, αλλά οι γαλβανισμένοι σωλήνες από χάλυβα εν θερμώ θα πρέπει να είναι κοχλιωτοί.
(2) Οι σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα θα πρέπει να συνδέονται με συγκόλληση με τόξο αργού και συγκόλληση με άκρο ή συγκόλληση με πρίζα, αλλά οι αγωγοί αερίου υψηλής καθαρότητας πρέπει να συνδέονται με συγκόλληση χωρίς σημάδια στον εσωτερικό τοίχο.
(3) Η σύνδεση μεταξύ αγωγών και εξοπλισμού θα πρέπει να συμμορφώνεται με τις απαιτήσεις σύνδεσης του εξοπλισμού. Όταν χρησιμοποιούνται συνδέσεις εύκαμπτων σωλήνων, θα πρέπει να χρησιμοποιούνται μεταλλικοί σωλήνες
(4) Η σύνδεση μεταξύ αγωγών και βαλβίδων θα πρέπει να συμμορφώνεται με τους ακόλουθους κανονισμούς
① Το στεγανοποιητικό υλικό που συνδέει αγωγούς αερίου υψηλής καθαρότητας και βαλβίδες θα πρέπει να χρησιμοποιεί μεταλλικά παρεμβύσματα ή διπλά λάστιχα σύμφωνα με τις απαιτήσεις της διαδικασίας παραγωγής και τα χαρακτηριστικά αερίου.
②Το υλικό στεγανοποίησης στη σύνδεση με σπείρωμα ή φλάντζα πρέπει να είναι πολυτετραφθοροαιθυλένιο.
3.2 Σύμφωνα με τις απαιτήσεις των προδιαγραφών και των σχετικών τεχνικών μέτρων, η σύνδεση αγωγών αερίου υψηλής καθαρότητας θα πρέπει να συγκολλάται όσο το δυνατόν περισσότερο. Κατά τη διάρκεια της συγκόλλησης πρέπει να αποφεύγεται η απευθείας συγκόλληση. Θα πρέπει να χρησιμοποιούνται μανίκια σωλήνων ή τελειωμένοι σύνδεσμοι. Τα χιτώνια σωλήνων πρέπει να είναι κατασκευασμένα από το ίδιο υλικό και την ίδια ομαλότητα της εσωτερικής επιφάνειας με τους σωλήνες. επίπεδο, κατά τη συγκόλληση, προκειμένου να αποφευχθεί η οξείδωση του τμήματος συγκόλλησης, πρέπει να εισαχθεί καθαρό προστατευτικό αέριο στον σωλήνα συγκόλλησης. Για σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα, θα πρέπει να χρησιμοποιείται συγκόλληση τόξου αργού και να εισαχθεί στον σωλήνα αέριο αργού ίδιας καθαρότητας. Πρέπει να χρησιμοποιηθεί σύνδεση με σπείρωμα ή σύνδεση με σπείρωμα. Κατά τη σύνδεση των φλαντζών, θα πρέπει να χρησιμοποιούνται δακτύλιοι για συνδέσεις με σπείρωμα. Εκτός από τους σωλήνες οξυγόνου και τους σωλήνες υδρογόνου, οι οποίοι θα πρέπει να χρησιμοποιούν μεταλλικά παρεμβύσματα, άλλοι σωλήνες θα πρέπει να χρησιμοποιούν παρεμβύσματα πολυτετραφθοροαιθυλενίου. Η εφαρμογή μικρής ποσότητας καουτσούκ σιλικόνης στα παρεμβύσματα θα είναι επίσης αποτελεσματική. Βελτιώστε το αποτέλεσμα σφράγισης. Παρόμοια μέτρα πρέπει να λαμβάνονται όταν γίνονται συνδέσεις με φλάντζα.
Πριν ξεκινήσουν οι εργασίες εγκατάστασης, γίνεται λεπτομερής οπτικός έλεγχος των σωλήνων,εξαρτήματα, βαλβίδες κ.λπ. Το εσωτερικό τοίχωμα των συνηθισμένων σωλήνων από ανοξείδωτο χάλυβα θα πρέπει να γίνεται τουρσί πριν από την εγκατάσταση. Οι σωλήνες, τα εξαρτήματα, οι βαλβίδες κ.λπ. των αγωγών οξυγόνου θα πρέπει να απαγορεύονται αυστηρά από λάδια και θα πρέπει να απολιπαίνονται αυστηρά σύμφωνα με τις σχετικές απαιτήσεις πριν από την εγκατάσταση.
Πριν εγκατασταθεί και τεθεί σε χρήση το σύστημα, το σύστημα αγωγών μεταφοράς και διανομής θα πρέπει να καθαριστεί πλήρως με το παραδοθέν αέριο υψηλής καθαρότητας. Αυτό όχι μόνο διώχνει τα σωματίδια σκόνης που έπεσαν κατά λάθος στο σύστημα κατά τη διαδικασία εγκατάστασης, αλλά παίζει επίσης ρόλο στεγνώματος στο σύστημα σωληνώσεων, αφαιρώντας μέρος του αερίου που περιέχει υγρασία που απορροφάται από το τοίχωμα του σωλήνα και ακόμη και το υλικό του σωλήνα.
4. Δοκιμή πίεσης αγωγού και αποδοχή
(1) Μετά την εγκατάσταση του συστήματος, θα διενεργείται 100% ακτινολογική επιθεώρηση των σωλήνων που μεταφέρουν πολύ τοξικά υγρά σε ειδικούς αγωγούς αερίου και η ποιότητά τους δεν θα είναι χαμηλότερη από το Επίπεδο II. Άλλοι σωλήνες υπόκεινται σε δειγματοληπτική ακτινογραφική επιθεώρηση και η αναλογία επιθεώρησης δειγματοληψίας δεν πρέπει να είναι μικρότερη από 5 %, η ποιότητα δεν πρέπει να είναι χαμηλότερη από τον βαθμό III.
(2) Αφού περάσετε τη μη καταστροφική επιθεώρηση, θα πρέπει να πραγματοποιηθεί δοκιμή πίεσης. Προκειμένου να διασφαλιστεί η στεγνότητα και η καθαρότητα του συστήματος σωληνώσεων, δεν πρέπει να διενεργείται δοκιμή υδραυλικής πίεσης, αλλά πρέπει να χρησιμοποιείται δοκιμή πνευματικής πίεσης. Η δοκιμή πίεσης αέρα πρέπει να πραγματοποιείται με χρήση αζώτου ή πεπιεσμένου αέρα που ταιριάζει με το επίπεδο καθαριότητας του καθαρού δωματίου. Η πίεση δοκιμής του αγωγού πρέπει να είναι 1,15 φορές η πίεση σχεδιασμού και η πίεση δοκιμής του αγωγού κενού πρέπει να είναι 0,2 MPa. Κατά τη διάρκεια της δοκιμής, η πίεση πρέπει να αυξάνεται σταδιακά και αργά. Όταν η πίεση ανέλθει στο 50% της πίεσης δοκιμής, εάν δεν εντοπιστεί ανωμαλία ή διαρροή, συνεχίστε να αυξάνετε την πίεση βήμα προς βήμα κατά 10% της πίεσης δοκιμής και σταθεροποιήστε την πίεση για 3 λεπτά σε κάθε επίπεδο μέχρι την πίεση δοκιμής . Σταθεροποιήστε την πίεση για 10 λεπτά και στη συνέχεια μειώστε την πίεση στην πίεση σχεδιασμού. Ο χρόνος διακοπής της πίεσης πρέπει να προσδιορίζεται ανάλογα με τις ανάγκες ανίχνευσης διαρροών. Ο αφριστικός παράγοντας είναι κατάλληλος εάν δεν υπάρχει διαρροή.
(3) Αφού το σύστημα κενού περάσει τη δοκιμή πίεσης, θα πρέπει επίσης να διεξάγει δοκιμή βαθμού κενού 24 ωρών σύμφωνα με τα έγγραφα σχεδιασμού και ο ρυθμός συμπίεσης δεν πρέπει να είναι μεγαλύτερος από 5%.
(4) Δοκιμή διαρροής. Για συστήματα σωληνώσεων βαθμού ppb και ppt, σύμφωνα με τις σχετικές προδιαγραφές, καμία διαρροή δεν πρέπει να θεωρείται ως ειδική, αλλά η δοκιμή ποσού διαρροής χρησιμοποιείται κατά τη διάρκεια του σχεδιασμού, δηλαδή η δοκιμή ποσού διαρροής εκτελείται μετά τη δοκιμή αεροστεγανότητας. Η πίεση είναι η πίεση εργασίας και η πίεση σταματά για 24 ώρες. Η μέση ωριαία διαρροή είναι μικρότερη ή ίση με 50 ppm σύμφωνα με τις προδιαγραφές. Ο υπολογισμός της διαρροής έχει ως εξής:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Στον τύπο:
Διαρροή μιας ώρας (%)
P1-Απόλυτη πίεση στην αρχή της δοκιμής (Pa)
P2-Απόλυτη πίεση στο τέλος της δοκιμής (Pa)
T1-απόλυτη θερμοκρασία στην αρχή της δοκιμής (K)
T2-απόλυτη θερμοκρασία στο τέλος της δοκιμής (K)
Ώρα δημοσίευσης: Δεκ-12-2023